AUDIRA van Nearfield Instruments is voor de halfgeleidersector het eerste niet-destructieve inline metrologiesysteem voor ondergronden

ROTTERDAM, Nederland, July 10, 2023 (GLOBE NEWSWIRE) -- Nearfield Instruments B.V. is een leverancier van innovatieve procescontrole bij metrologie-oplossingen voor hoogwaardige halfgeleiderapparatuur die vandaag de lancering van AUDIRA™ aankondigde - het voor de halfgeleiderindustrie allereerste niet-destructieve inline metrologiesysteem voor ondergronden. Het AUDIRA-systeem levert zeer nauwkeurige en reproduceerbare metingen op nanometerniveau van ondergrondse structuren en defecten, zoals bijvoorbeeld in holtes, op complexe geheugen- en optische apparaten.

"AUDIRA is een doorbraak in de productie van hoogwaardige halfgeleiders. Het systeem levert meetgegevens die voorheen niet beschikbaar waren zonder de wafer te verwijderen," aldus Hamed Sadeghian, CEO van Nearfield Instruments. "Het voornaamste is dat de AUDIRA procesingenieurs inzicht geeft in de binnenste lagen van de wafer - details die ze tot nu toe nooit niet-destructief konden meten en waar ze soms zelfs nooit naar hadden gezocht. AUDIRA, verandert net zoals ons eerste product QUADRA™, de inline metrologie en inspectie in een meerwaarde voor het productieproces van halfgeleiders."

Nearfield Instruments verwacht dan ook dat AUDIRA een aanvulling zal zijn op transmissie-elektronenmicroscopie (TEM) en scanning-elektronenmicroscopie (CD-SEM) voor kritische dimensies bij procesmetingen in onderlagen. AUDIRA hanteert een snelle, zeer nauwkeurige en niet-destructieve akoestische inline benadering met als bijkomend voordeel de snelle doorlooptijd.

Nearfield Instruments combineert de akoestische microscopietechniek van hun eigen atoomkrachtmicroscopie (AFM) met AUDIRA. De AFM-sonde 'luistert' als het ware naar de geluidsgolven die door de lagen van de wafer heen gaan. De geluidsgolf interageert met alle overgangen en oppervlakken binnen het apparaat en kaatst informatie terug. Het door de teruggekaatste golf verkregen patroon en de tijd van ontvangst geven informatie over de structuur onder het oppervlak. AUDIRA scant over de chip, in stappen van enkele tienden van een nanometer. De gegevens worden vervolgens geconverteerd in een uitgebreid patroon van de onderliggende lagen die zo gemeten kunnen worden.

AUDIRA is ook waardevol voor ondiepe oppervlaktemetingen. Met behulp van de AFM-sonde kunnen variaties in de oppervlakte-elasticiteit eenvoudig worden gemeten om inzicht te krijgen in de onderliggende structuur. Nearfield Instruments ontwikkelt in overleg met hun klanten een concept om te bepalen wanneer de akoestiek moet worden toegepast en bij welke frequentie, welke lagen lokale elasticiteitsmetingen het meest geschikt zijn en wanneer moet worden overgeschakeld op golfpropagatieschema's.

Het productassortiment van Nearfield Instruments omvat ook de QUADRA™-oplossing voor oppervlaktemetingen. Het systeem omvat een unieke, meervoudig geminiaturiseerde AFM-hoofdarchitectuur die wordt gecombineerd met feedforward trajectory planner (FFTP) beeldvormingstechnologie om niet-destructieve metingen mogelijk te maken voor inline procesmonitoring van structuren met een zeer hoge beeldverhouding en voor de metrologie van hybride verbindingen en kritische EUV-resistentie. QUADRA resulteert in een verbetering van meer dan 100 keer qua beeldvormingstijd in vergelijking met bestaande AFM-systemen.

Bestellingen voor AUDIRA kunnen vanf nu worden opgenomen. De eerste systemen zullen in het tweede kwartaal van 2024worden geleverd aan de voornaamste producenten aan halfgeleiders wereldwijd.

Over Nearfield Instruments
Nearfield Instruments biedt oplossingen voor de metrologie- en controle-uitdagingen van de halfgeleiderindustrie met niet-destructieve, inline nano-metrologietechnieken voor geavanceerde 3D-geheugen- en logica-apparatuur. De producten van Nearfield Instruments verschaffen de meest gevorderde meetprecisie en -reproduceerbaarheid in de branche op het gebied van sturing en gegevensverwerking. Voor meer informatie over Nearfield Instruments kunt u terecht op: https://www.nearfieldinstruments.com.