Inline halfgeleidermetrologiesysteem QUADRA® van Nearfield Instruments uitgerust met nieuwe 'Lightning Mode™'; systeem volledig gevalideerd voor hoog-volume productie

Lightning Mode™ verhoogt de beeldacquisitiesnelheid met een factor 160 ten opzichte van de huidige geautomatiseerde AFM-meettechniek


ROTTERDAM, Nederland, July 09, 2024 (GLOBE NEWSWIRE) -- Nearfield Instruments B.V., leverancier van baanbrekende meetoplossingen voor procesbesturing voor geavanceerde halfgeleiderproducten, lanceert vandaag "Lightning Mode™", een nieuwe functie in QUADRA®, het metrologiesysteem op basis van atoomkrachtmicroscopie (AFM) met de hoogste verwerkingscapaciteit in de halfgeleiderindustrie voor geavanceerde halfgeleiderapparatuur. QUADRA is nu volledig gekwalificeerd voor hoog-volume productie (HVM) in de toonaangevende productievestigingen in de sector.

QUADRA is een inline scanning probe metrologie-systeem met hoge verwerkingscapaciteit met baanbrekende multi-miniatuur AFM-meetkoparchitectuur om on-device, niet-destructieve driedimensionale (3D) metrologie mogelijk te maken. Het versnelt de time-to-yield en HVM-opbrengstoptimalisatie en -controle in geheugen- (VNAND, DRAM, HBM) en logicaprocessen, inclusief structuren met een hoge beeldverhouding en hybrid bonding-toepassingen en (high-NA) EUV-weerstandsstructuren.

QUADRA, gecombineerd met de nieuwe Lightning Mode, verhoogt de productiviteit met een meer dan 160-voudige toename in beeldacquisitiesnelheid vergeleken met bestaande state-of-the-art geautomatiseerde AFM-systemen. De extreem hoge verwerkingscapaciteit van QUADRA, samen met de superieure nauwkeurigheid, stelt klanten in staat om non-destructief lot-to-lot, wafer-to-wafer en intra-wafer procesvariaties te bepalen in volledig 3D met een zeer hoge wafer- en lotdekking.

"Hybrid bonding is een kritieke technologie om de toekomstige vraag naar rekenkracht te ondersteunen, die leidt tot meer chipstapeling en meer datatransmissie; efficiënter energieverbruik in multi-chipsystemen is essentieel. Hybrid bonding speelt een cruciale rol in chipsystemen voor kunstmatige intelligentie (AI), zowel in 3D-verpakking als in de productie van de nieuwe generatie geheugen met hoge bandbreedte (HBM). Het brengt echter extra complexiteit met zich mee voor 3D-verpakkingen en chiplets, waardoor het belang toeneemt van niet-destructieve metrologie op angstrom-niveau met de mogelijkheid van niet alleen die-to-die, maar ook pad-to-pad metrologie, die historisch gezien een beperkte verwerkingscapaciteit heeft laten zien ten opzichte van de meer conventionele technieken zoals AFM," zegt Hamed Sadeghian, CEO van Nearfield Instruments. "QUADRA transformeert de metrologie van halfgeleiderproductie, vooral nu met onze nieuwe Lightning Mode – het enige metrologiesysteem dat in staat is om zeer nauwkeurige, inline, niet-destructieve 3D-metingen uit te voeren met een extreem hoge verwerkingscapaciteit op geavanceerde technologische knooppunten. Het is gevalideerd en gekwalificeerd voor alle apparaat- en pakkettypes in de productievestiging."

QUADRA is nu volledig gevalideerd voor het meten van dichte structuren met hoge beeldverhoudingen op geavanceerde DRAM en logica-apparatuur. Nearfield Instruments anticipeert op de groeiende vraag, vooral met de nieuwe Lightning Mode die de snelste beeldvormingssnelheid biedt van alle inline AFM-meetsystemen ter wereld, waardoor massale meetbehoeften worden ondersteund. "We verwachten meerdere orders voor het QUADRA-systeem tegen het einde van 2024," voegt Sadeghian eraan toe.

Het productportfolio van Nearfield Instruments omvat ook het AUDIRA®-systeem, dat zeer nauwkeurige en reproduceerbare metingen op nanometerniveau biedt van ingegraven kenmerken en defecten, zoals leemtes, in geavanceerde geheugen- en logica-apparatuur. AUDIRA maakt gebruik van een akoestische benadering die snel, zeer nauwkeurig en niet-destructief is, met als extra voordelen dat het inline is en een snelle doorlooptijd heeft.

QUADRA is nu te bestellen en de Lightning Mode is beschikbaar vanaf augustus 2024. Voor meer informatie kunt u terecht op https://www.nearfieldinstruments.com.

Over Nearfield Instruments
Nearfield Instruments biedt oplossingen voor de metrologie- en controle-uitdagingen van de halfgeleiderindustrie met niet-destructieve, inline nano-metrologietechnieken voor geavanceerde 3D-geheugen- en logica-apparatuur. De producten van Nearfield Instruments verschaffen de meest gevorderde meetprecisie en -reproduceerbaarheid in de branche op het gebied van sturing en gegevensverwerking. Voor meer informatie over Nearfield Instruments kunt u terecht op https://www.nearfieldinstruments.com.

Media Contact                                               
Sandy Fewkes, Senior PR Manager
Kiterocket                                                
+1 408.529.9685
SFewkes@Kiterocket.com

Contactpersoon Bedrijf
Roland van Vliet, Chief Partnership Officer
Nearfield Instruments B.V.
+31-10-2233610
roland.vanvliet@nearfieldinstruments.com